单机镀膜设备（3维转架）FE-2600

1：应用领域 
（1）高端金属双极板涂层制备。
2：产品优势 
（1）可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合； 
（2）适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜； 
（3）可以进行连续稳定长时间工作。
3：技术参数
（1）PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量50-100片，1炉/4小时。 
（2）技术指标：1.5MPa，接触电阻小于3mΩ*cm²；0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm（F）腐蚀电流0.2μA/cm²，加速腐蚀寿命50小时以上。
每炉100片，4小时/炉。 
（3）工作产量：12万片/年以上。